Система PlasCalc снята с производства!

Для заказа доступна более функциональная многоканальная специализированная система для анализа плазмы серии Emicon!

Более подробную информацию Вы можете получить у наших технических специалистов по телефону +7 (812) 920 40 33, отправив запрос на электронную почту Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript , или перейти по ссылке.

Система мониторинга PlasCalc способна в реальном времени измерять излучения плазмы в диапазоне 200-1100 нм всего за 3 миллисекунды. Модель PlasCalc представляет собой передовую систему для контроля технологических процессов и сочетает в себе сложные алгоритмы сбора и обработки данных.

Возможности

• оптическое разрешение 1.5 нм (FWHM)
  
• спектральный диапазон 200-1100 нм
• быстрое создание методики эксперимента
  

Редактор сценариев

Программное обеспечение PLASCALC-SOFTWARE позволяет быстро создавать эффективные сценарии для автоматизации обработки данных, а также легко объединять несколько сценариев для создания комплексного метода реагирования системы во время мониторинга самых сложных плазменных процессов, таких как измерение налета на пленках, контроль плазменного травления, проверка чистоты поверхностей и состояния плазменных камер, мониторинг загрязнений и явлений разрядов.

Инструменты для диагностики плазмы

Программное обеспечение PLASCALC-SOFTWARE имеет встроенный редактор сценариев и предоставляет легкий доступ к полному спектру математических и алгоритмических функций.

Дополнительная библиотека длин волн излучения SPECLINE обеспечивает идентификацию типа, в то время как редактор длин волн позволяет оптимизировать отношение сигнала к шуму. Оконный интерфейс программного обеспечения позволяет одновременно отображать реальный спектр и всю информация по управлению технологическими процессами.

SPECLINE - это программное обеспечение для спектроскопии, астрофизики, анализа плазменных процессов. С его помощью можно легко оценить полученные спектральные данные, например, осуществить поиск конкретных линий в спектрах, выполнить идентификацию неизвестных пиков, определить атомные линии и молекулярные полосы, или сравнить спектральные данные из разных измерений. SPECLINE почти мгновенно обнаруживает пики линий и полос с помощью нескольких мощных фильтрующих функций. В комплект SPECLINE включена обширная библиотека атомов и молекул.

Примеры использования

• Плазменное травление
  
• Контроль состояния плазменных камер
• Планаризация поликремниевых покрытий
  
• Применение защитных покрытий
  
• Аномальные явления в ходе процессов
  
• Оптимизация процессов
• Процессы по очистке поверхностей

Технические характеристики

Информация для заказа