gototopgototop
top
logo

Поиск по сайту


Главная
Система для рефлектометрии тонких пленок NanoCalc


Система для рефлектометрии тонких пленок NanoCalcОптические свойства тонких пленок возникают из-за  эффектов отражения и интерференции. Метрологическая система для рефлектометрии тонких пленок NanoCalc позволяет анализировать оптические слои толщиной от <10 нм до ~250 мкм. с разрешением до 0.1 нм. В зависимости от выбора программного обеспечения, вы можете анализировать однослойные или многослойные пленки менее чем за одну секунду, а также можете измерять толщину и удельный съем полупроводниковых пленок, нецарапающихся, твердых и антибликовых покрытий.


Преимущества системы NanoCalc

  • Возможность анализа однослойных и многослойных покрытий
  • Разрешение до 0.1 нм
  • Анализ покрытий в реальном времени на рабочем месте
  • Обширная база данных материалов


Принцип действия

Два наиболее распространенных способа измерения характеристик тонких покрытий - это измерение коэффициентов отражения/пропускания и эллипсометрия. В системе NanoCalc используется метод отражения и измерения количества света, отраженного от тонкого покрытия на различных длинах волн, падающего по нормали к поверхности образца.


Поиск по величине n и k

Анализируемое покрытие может содержать до 10 различных слоев. Слои и подложки могут быть металлическими, диэлектрическими, аморфными или представлять собой кристаллические полупроводники. Программное обеспечение NanoCalc включает в себя обширную библиотеку значений n и k для наиболее распространенных материалов. Вы можете самостоятельно редактировать записи библиотеки, или добавлять новые. Кроме того, вы можете определить типы материалов по формулам уравнений или дисперсии.


Область применения

Рефлектометрические системы NanoCalc для тонких пленок идеально подходят для локального измерения удельного съема материалов, а также для определения толщины оксидированных, SiNx, фоторезистивных и других полупроводниковых пленок. Системы NanoCalc также позволяют измерять антибликовые и нецарапающиеся покрытия, необработанные слои на подложках, таких как сталь, алюминий, латунь, медь, керамика и пластмассы.

Также среди областей применения:

  • Измерение пропускания и отражения неотражающих и жестких покрытий
  • Анализ медицинских покрытий и надувных шариков катетеров
  • Тестирование прочности и изношенности покрытий
  • Измерение толщины утоненных силиконовых дисков
  • Определение фоторезистивных слоев защитных маск
  • Анализ погодоустойчивых и грязеустойчивых покрытий (эффект Лотоса)
  • Измерение покрытий внутри контейнеров для напитков
  • Измерение воздушных зазоров
  • Анализ покрытий оптических дисков


Выбор программного обеспечения

Каждая метрологическая система NANOCALC требует наличия установленного программного обеспечения NANOCALC-1, или NANOCALC-10-N. Также для заказа доступны дополнительные модули, позволяющие осуществлять функции  симуляции спектра, позиционирования и внешней синхронизации.


Технические характеристики

Модель:NANOCALC-VIS
NANOCALC-XR
NANOCALC-DUV
Спектральный диапазон:400-850 нм250-1050 нм190-1100 нм
Измеряемая толщина
пленки:
50 нм - 100 мкм10 нм - 100 мкм1 нм - 100 мкм
Оптическое разрешение:0.1 нм
Повторяемость:0.3 нм0.3 нм
0.3 нм
Угол падения излучения:90º
Количество слоев:до 10
Показатель преломления:да
Тестируемые материалы:Прозрачные, или полупрозрачные покрытия
Необходимость в опорном сравнении:да (непокрытая подложка)
Режимы измерения:Отражение и пропускание
Поддержка необработанных покрытий: да
Скорость измерения:от 100 мс до 1 с
Измерение в реальном
времени:
да
Рабочее расстояние (высота):

стандартное 1.5 - 3 мм
до 50 мм (с помощью коллиматора COL-UV-6.35)

Размер пятна:200 мкм / 400 мкм (стандартно)
100 мкм (по запросу)
Микрофокус:да (при использовании микроскопа, по запросу)
Визуализация:да (при использовании микроскопа, по запросу)
Возможность
позиционирования:
да (с помощью координатного столика, по запросу)
Поддержка измерений
в вакууме:
да
Подключение к ПК:USB 2.0
Количество спектрометрических модулей:111
ПО для управления и обработки данных:NANOCALC (не входит в комплект поставки)


Модель:
NANOCALC-NIR
NANOCALC-COMBI
NANOCALC-STS
Спектральный диапазон:
900-1700 нм
250-1700 (2200) нм
UV / VIS / NIR
Измеряемая толщина
пленки:
100 нм - 250 мкм
10 нм - 250 мкм
50 нм - 100 мкм
Оптическое разрешение:
0.1 нм
Повторяемость:
1 нм
0.3 нм
1 нм
Угол падения излучения:
90º
Количество слоев:
до 10
Показатель преломления:
да
Тестируемые материалы:
Прозрачные, или полупрозрачные покрытия
Необходимость в опорном сравнении:
да (непокрытая подложка)
Режимы измерения:
Отражение и пропускание
Поддержка необработанных покрытий:
да
Скорость измерения:
от 100 мс до 1 с
Измерение в реальном
времени:
да
Рабочее расстояние (высота):
стандартное 1.5 - 3 мм
до 50 мм (с помощью коллиматора COL-UV-6.35)
Размер пятна:
200 мкм / 400 мкм (стандартно)
100 мкм (по запросу)
Микрофокус:
да (при использовании микроскопа, по запросу)
Визуализация:
да (при использовании микроскопа, по запросу)
Возможность
позиционирования:
да (с помощью координатного столика, по запросу)
Поддержка измерений
в вакууме:
да
Подключение к ПК:
USB 2.0
Количество спектрометрических модулей:
1
21
ПО для управления и обработки данных:
NANOCALC (не входит в комплект поставки)



Информация для заказа

Системы NANOCALC:

Код товараОписание
NANOCALC-VIS
Система для рефлектометрии тонких пленок
NANOCALC-XR
Система для рефлектометрии тонких пленок
NANOCALC-DUV
Система для рефлектометрии тонких пленок
NANOCALC-NIR
Система для рефлектометрии тонких пленок
NANOCALC-COMBI
Система для рефлектометрии тонких пленок
NANOCALC-STS
Система для рефлектометрии тонких пленок


Программное обеспечение для систем NANOCALC:

Код товараОписание
NANOCALC-10-N-1Программное обеспечение для измерения тонких пленок для ОС Windows 10 (64 bit) и выше. Выполняет измерение, симуляцию и анализ массива, содержащего до 10 слоев. Определение коэффициента преломления возможно с помощью дополнительного программного модуля Cauchy (только для SiO2, SiN, остальные по запросу)
NANOCALC-ONLINEПрограммный модуль (требуется NANOCALC-10-N-1), обеспечивающий внешний "On-line" запуск и ручное многоточечное измерение с передачей данных в Excel, функцию статистики, 1D-график. Онлайн-отображение XY-графиков и гистограмм толщины слоя и скорости съема
NANOCALC-MULTIPOINT
Программный модуль (требуется NANOCALC-10-N-1), обеспечивающий ручное многоточечное измерение, список результатов с передачей данных в ecxel, CSV-данные, функцию статистики и 1D-график. Измерение по щелчку мыши, нажатию клавиши на клавиатуре или внешнему триггеру
NANOCALC-REMOTE
Модуль SDK (требуется NANOCALC-10-N-1) обеспечивает функциональность Active-X и позволяет управлять большинством функций NANOCALC из стороннего программного обеспечения.

Дополнительные принадлежности для систем NANOCALC:

Код товараОписание
WAFER-SET
Набор калибровочных подложек
COL-UV-6.35
Коллиматор UV/VIS/NIR (200-2000 нм) с разъемом 6.35 мм


Дополнительная информация

Дополнительную информацию по системам NanoCalс Вы можете найти на сайте интегратора KaPaTek.

 

Голосование

Что Вы знаете о продукции Ocean Optics:

(580 голосов)

(314)
(143)
(93)
(30)
Спасибо за Ваш голос!


bottom

Copyright © 2011-2020. E-Mail: info@oceanoptics.ru, Тел.: +7 (812) 920 40 33. Все права защищены.
При копировании материалов с сайта ссылка обязательна.